Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

簡要描述：Diener 等離子表面處理儀 Tetra100特點：
·便捷的觸摸屏操作界面

·數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠程操控，數據導出

·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大

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詳細介紹

Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

特點：

·便捷的觸摸屏操作界面

·數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

·異常報警功能

·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠程操控，數據導出

·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大

型號		Tetra 100
控制系統	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系統	Windows CE	Windows 10
	觸摸屏	3.5/7”	7/15”
工藝氣體		O2 Ar N2 Air SF6 CF4等
工藝氣路		1-3路（可選）	1-10路（可選）
流量計		MFC /防腐型MFC
真空腔體		不銹鋼W400xD625xH400/100L 鋁合金W400xD625xH400/100L
電極	材質	鋁/不銹鋼電極
電極	層數（可選）	1-10（可選） 1-2層 1-5層
發生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
真空壓力計（mba)		皮拉尼傳感器（0-9.99)
托盤	不銹鋼/鋁	實板/鏤空
托盤	層數	1-10（可選）
外形尺寸WDH（mm)		600x850x1700(2100)
電源		AC400 V / 16 A
真空泵抽氣速度		根據工藝選擇
選配件		單體導入模塊、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵

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