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Diener 等離子表面處理儀 PICO

簡要描述：Diener 等離子表面處理儀 PICO特點：
· 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式，實現控制高機能

· 4" Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發中心使用

產品目錄

PRODUCT CENTER

詳細介紹

品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	醫療衛生,環保,生物產業,農業

Diener 等離子表面處理儀 PICO

特點：

· 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式，實現控制高機能

· 4" Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發中心使用

· 操作簡單易使用

型號		PICO	PICO PCCE
控制系統		手動控制	PCCE 控制系統
工藝氣路		雙路或三路氣體
工藝氣體		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體
單體導入		H2O，親疏水涂層等單體（選配）
流量計		針閥流量計（防腐蝕）	MFC流量計（防腐蝕）
真空腔體	材質	高硼硅玻璃/石英蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗	不銹鋼蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗	鋁合金鉸鏈門
	圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm	150×320(600) *1	130×300( 600) *1	—
	方形腔體內尺寸（W×D×H）mm	—	160×325( 600) *1×160mm	150×325（600）*1×160
	容積	5.6L~10.6L	8L~15L	7.8L~14L
電極		360度外置環繞電極	平行平板電極
發生器*		40 kHz 0-200W 100 kHz 0-500W 13.56 MHz 0-50W 或者 0-100W 或者0-300W 2.45 GHz 0-300W
真空壓力計		指針式壓力計	皮拉尼數字式壓力計
計時器		模擬數字式	數字式
托盤		高硼硅玻璃，石英，不銹鋼，鋁合金
外形尺寸（WXDxH）mm		560x600-750x460-860mm
電源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排氣速度不小于8m3/H