Diener 等離子表面處理儀 Tetra45

簡要描述：Diener 等離子表面處理儀 Tetra45特點：
便捷的觸摸屏操作界面

數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

異常報警功能

自動/手動操作模式可切換

儲存多套工藝程序

遠程操控，數據導出

模塊多樣化選擇，處理量大

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詳細介紹

Diener 等離子表面處理儀 Tetra45特點：

· 便捷的觸摸屏操作界面

· 數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

· 異常報警功能

· 自動/手動操作模式可切換

· 儲存多套工藝程序

· 遠程操控，數據導出

· 模塊多樣化選擇，處理量大

型號		Tetra 45
控制系統	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
	控制方式	BASIC PC	FULL PC
	操作系統	Windows CE	Windows 10
	觸摸屏	3.5/7”	15”
工藝氣體		O2 Ar N2 Air SF6 CF4等
工藝氣路		1-3（可選）	1-10（可選）
流量計		MFC /防腐型MFC
真空腔體	材質	不銹鋼/鋁合金
	尺寸WDH（mm)	572x650(1500) *1x120
	容積(L)	45~100L
電極	材質	鋁/不銹鋼電極
電極	層數	1層
發生器		40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W
真空壓力計（mba)		皮拉尼傳感器（0-9.99)
托盤	不銹鋼/鋁	實心板/鏤空板
托盤	層數	1-2（可選）
外形尺寸WDH（mm)		600x850（1600）x1700(2100)
電源		AC400 V / 16 A
真空泵抽氣速度		根據工藝選擇
選配件		單體導入模塊（親疏水涂層）、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、石英舟、干泵

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