原子力顯微鏡的工作原理

 

原子與原子之間的交互作用力因?yàn)楸舜酥g的距離的不同而不同，其之間的能量表示也會(huì)不同。

 

原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）*大的差別在于并非利用電子隧道效應(yīng)，而是利用原子之間的范德華力（Van DerWaalsForce）作用來呈現(xiàn)樣品的表面特性。假設(shè)兩個(gè)原子中，一個(gè)是在懸臂（cantilever）的探針**，另一個(gè)是在樣本的表面，它們之間的作用力會(huì)隨距離的改變而變化，其作用力與距離的關(guān)系，當(dāng)原子與原子很接近時(shí)，彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用，所以整個(gè)合力表現(xiàn)為斥力的作用，反之若兩原子分開有一定距離時(shí)，其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用，故整個(gè)合力表現(xiàn)為引力的作用。若以能量的角度來看，這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard–Jones 的公式中到另一種印證。

 

·0.3納米長(zhǎng)期穩(wěn)定

提供NIST可追蹤的參考計(jì)量，并在一年內(nèi)保持測(cè)量的穩(wěn)定性

 

·260-340個(gè)站點(diǎn)/小時(shí)

內(nèi)聯(lián)應(yīng)用程序的*高生產(chǎn)效率

減少M(fèi)AM時(shí)間和優(yōu)化的晶圓處理可保持高達(dá)50個(gè)晶圓/小時(shí)的吞吐量

 

·高達(dá)36000微米/秒

仿形速度

通過熱點(diǎn)識(shí)別提供高分辨率3D特征

 

·*高分辨率，尖--端壽命長(zhǎng)

InSight AFP的TrueSense®技術(shù)，具有原子力分析器經(jīng)驗(yàn)證的長(zhǎng)掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度、凹陷和侵蝕可以*自動(dòng)化地監(jiān)控，具有可重復(fù)性，無需依賴測(cè)試鍵或模型。

 

蝕刻和CMP晶片的全自動(dòng)在線過程控制

Insight AFP結(jié)合了原子力顯微鏡的新創(chuàng)新，包括Bruker的專有CDMode，用于表征側(cè)壁特征和粗糙度。CDmode減少了所需的橫截面數(shù)量，實(shí)現(xiàn)了顯著的成本節(jié)約。此外，AFP數(shù)據(jù)提供了無法通過其他技術(shù)獲得的直接側(cè)壁粗糙度測(cè)量。