無油渦旋真空泵的優點及應用

在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

①. 無油，無摩擦——真空腔內無油，非接觸，無磨損，不產生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空;

②. 抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源;

③. 抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低;

④. 非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小;

⑤. 結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩;

⑥. 體積小，維修方便，維護費用低;

⑦. 采用空氣冷卻，無需水冷。

無油渦旋真空泵應用在

①. 半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;

②. 科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;

③. 機械設備行業——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備;

④. 化學工業;

⑤. 醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;

⑥. 包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。

無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：

①. 動靜渦旋盤付與基座;

②. 曲軸;

③. 密封墊;

④. 防自轉機構;

⑤.電機。